Projektbeispiele

Die MST Technology GmbH & Co. KG realisiert den Neubau, die Erweiterung und Verlagerung von Vakuumbeschichtungsanlagen für Produktion, Forschung und Entwicklung. 

Hier finden Sie einige Projektbeispiele. Sprechen Sie uns an wenn Sie kompetente Unterstützung benötigen.

Neuentwicklung einer horizontalen In-Line Beschichtungsanlage

Neuentwicklung einer horizontalen In-Line Beschichtungsanlage zur 3D Beschichtung von Substraten mittels PVD Prozessen. Automatisches Be- und Entladesystem von Substraten auf einen Werkstückträger. Einbindung in einen linear verketteten Produktionsprozess in Hardware und Software.

Zusammenführen zweier vertikaler In-line PVD Anlagen

Zusammenführen zweier vertikaler In-line PVD Anlagen in P.R. China.
Abbau der bestehenden Systeme
Wiederaufbau und Zusammenführen der zwei Anlagen
Nachrüsten und Erweitern der Prozessfunktionen:

  • Pulsend DC Beschichtungskompartiments
  • In-Line Schichtdicken Messsystem
  • Upgrade von Planar- auf Rohrkathoden
  • Erweiterung der Subsysteme: Vakuumtechnik, Kühlwasser, Sicherheitstechnik,
    Prozessgasversorgung, Leistungsversorgung (P.R. China)

Erweiterung der Anlagenfunktionen einer 7° In-Line PVD Anlage

  • Erweiterung der Anlagenfunktionen einer 7° In-Line PVD Anlage mit Durchsatzsteigerung um 100%
  • Erweiterung des Kammer- und Vakuumsystems.
  • Erweiterung der Prozessfunktion: Nachrüstung von Rohrkathoden und HF Planarkathoden und Heizungen.
  • Einbindung in die Fabrik durch Anbindung von Yaskawa Robotersystem
  • Erweiterung der Subsysteme: Kühlwasser, Sicherheitstechnik, Prozessgasversorgung, Leistungsversorgung (P.R. China)

Verlagerung und Erweiterung der Anlagenfunktion einer 7° PVD In-Line PVD Anlage

  • Verlagerung einer 7° PVD In-Line PVD Anlage von Deutschland nach P.R. China mit
    Funktionserweiterung.
  • Einbindung in die Fabrik durch Anbindung von ABB Robotersystem
  • Umschaltung zwischen bestehendem DC und neuem MF Equipment incl. Implementierung einer Prozessregelung für Reaktivprozesse. Nachrüstung von Heizsystemen. Erweiterung der Subsysteme: Kühlwasser, Sicherheitstechnik, Prozessgasversorgung etc. (P.R. China)

Neuentwicklung und Herstellung einer Laboranlage für F&E

Neuentwicklung und Herstellung einer Laboranlage für F&E im Rahmen einer Kooperation für eine namhafte Forschungseinrichtung in Baden-Württemberg
Load Lock 7° In-Line PVD Anlage.

Neuentwicklung und Herstellung einer Pilotproduktionsanlage

Neuentwicklung und Herstellung einer Pilotproduktionsanlage für den OLED Light Bereich im Rahmen einer Kooperation für den Endkunden in Nanjing P.R. China
7° In-line PVD Anlage mit Carrier Return Track (P.R. China)

Neubau von Vertikalen PVD In-Line Anlagen

Neubau von vertikalen PVD In-Line Anlagen für die
Abscheidung von ITO und SIO2.  (P.R. China)

Retrofit vertikaler In-Line Beschichtungsanlagen

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